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我國工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展亟待突破高端特氣瓶頸

發(fā)布時間：2023-07-27

盡管在鋼瓶氣等傳統(tǒng)及中低端產(chǎn)品方面，我國已經(jīng)形成了規(guī)模優(yōu)勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的差距還是比較明顯?！疤貧馐切屡d門類，在特定領(lǐng)域應用。目前外資在產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)業(yè)規(guī)模上均具有較大優(yōu)勢，國內(nèi)還有很多特氣不能生產(chǎn)，很多產(chǎn)品還處于進口替代過程中。”目前全國的工業(yè)氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。

電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產(chǎn)品就無法制造。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全統(tǒng)計，2016年我國晶圓制造電子材料市場總額達343.03億元，較2015年增長6.9%，預計2017年將達359.36億元。未來中國基于廣大的市場消費群體，預計仍將保持增長態(tài)勢。

經(jīng)過近10年發(fā)展，國內(nèi)電子氣體行業(yè)涌現(xiàn)了一批生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定，能夠被半導體客戶接受的電子氣體生產(chǎn)企業(yè)。從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，預計2017年將增加至28.4%。國內(nèi)電子氣體市場接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國內(nèi)自給率卻非常低，近八成產(chǎn)品依賴進口。

“有些電子氣體國內(nèi)并不是完全不能生產(chǎn)，但在技術(shù)精益性上與國際先進水平有差別。譬如氯化氫，國內(nèi)企業(yè)也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質(zhì)量恒定在高水平?！?/p>

據(jù)了解，國家對電子氣體的發(fā)展一直比較重視，僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發(fā)的《“十三五”先進制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》提到要重點研發(fā)超高純電子氣體；發(fā)改委印發(fā)的《增強制造業(yè)核心競爭力3年行動計劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣?！拔覀儜プr機，通過自主創(chuàng)新，增加產(chǎn)品種類，提高國產(chǎn)化率，爭取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約。”